真空的獲得方法及真空泵的組成
真空的獲得方法及真空泵的組成
(1)利用機械運動的方法獲得真空的泵-機械真空泵,如往復真空泵、滑閥式真空泵、旋轉式真空泵、羅茨泵等.
(2)蒸汽流真空泵,如油增壓泵、金屬油擴散泵、水蒸汽噴射泵等,(3)吸附性泵,如屬于化學吸附性的有欽升華泵、蒸汽吸氣劑離子泵、濺射離子泵等,屬于物理吸附性的有冷吸附泵、深冷吸附泵、篩吸附泵等。
真空泵的組成
(1)被抽真空容器 如真空爐爐體,鍍膜機的真空室等;
(2)抽氣設備 機械泵,油擴散泵,增壓泵等;
(3)測量儀器 壓縮式真空計,電離-熱偶復合真空計;
(4)真空閥門 真空閘板閥(蝶閥)、氣動(電動)真空閥;
(5)真空導管 低真空導管和高真空導管;
(6)其他 管道、過濾器、水冷擋板。
在抽氣過程中,真空系統內部壓強各處是不同的.
壓強是逐漸由大氣壓變到真空的,而系統內部壓強分布的形式總是不變的,即在真空泵工作的過程中系統內的壓強在各不同斷面上總是不等的,這樣才可以進行抽氣。
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