油擴散泵的類別
油擴散泵的類別
在我國,已把擴散泵納入國家標準系列生產,使用已非常廣泛。
現有擴散泵可以分為不同的類別:
1.按工作液可分為油擴散泵和汞擴散泵。
2.按結構材料可分為金屬擴散泵和玻璃擴散泵。金屬擴散泵可以做得很大(抽速可做到每秒幾十萬升),玻璃擴散泵只能做成每秒幾百升的,但它的突出優點也不可忽視。
3.按型式、結構可分為立式、臥式,單級、多級。
目前使用最多的是金屬或玻璃立式四級油擴散泵。汞擴散泵也逐漸又為人們所重視。
擴散泵的主要結構部件有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣流導管和加熱器等。
擴散泵的簡單工作原理是利用高速蒸氣流的作用,在被抽容器和擴散泵之間建立起被抽氣體的分壓強差,這樣被抽氣體分子便不斷擴散到高速定向蒸氣流中,再被壓縮到前級空間,最后為前級泵所抽走。
擴散泵必須在一定的預真空下(10-2~10-3托)才能工作。當前級機械泵使擴散泵達到預真空后,即可用電爐將泵內工作液加熱到沸騰,它產生的大量蒸氣通過泵芯導流管分送到各級噴嘴,蒸氣在噴嘴帽處改變方向,從噴口噴出后,即形成速度很高的定向密集的蒸氣流。
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