真空系統的幾種分類

1.粗真空系統    

用粗真空泵(如水蒸氣噴射泵或水環泵)直接從大氣壓下為真空室排氣，組成的真空系統即為粗真空系統.該系統是最簡單的真空系統。

2.低真空系統

用低真空泵(如油封式機械泵)給真空室排氣，即可組成低真空系統。

3.中真空系統

4.高真空系統

這種系統應用較廣泛，它的工作壓力范圍一般在1.33×10-2~1.33×10-3Pa.

(1)擴散泵串聯機械泵的真空系統。可以獲得10-2~10-5Pa的真空度，一般用在工作時放氣量比較小的應用設備上。該系統的結構簡單。工作可命，成本低。缺點是系統啟動慢，預抽時間長。擴散泵的油蒸氣容易返流到真空室中去。

(2)擴散泵申聯油增壓泵，再串聯油封機械泵的真空系統。該系統的預抽時間短，但啟動較慢。

(3)擴散泵串聯羅茨泵(機械增壓泵)，再串聯機械泵的真空系統。它的啟動慢.但預抽氣時間短。

5.超高真空系統

(1)擴散泵串聯機械泵申聯冷阱系統。

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