真空泵常用檢漏方法

(1)分散檢漏法
此法是利用真空泵裝在系統上的真空計作為檢漏工具，用于整體真空設備的動態和靜態檢漏.將真空設備分成幾個部分，用真空閥門隔開，通過觀察儀表的壓強變化來確定漏量。也有的用探索法，即有特大的漏孔可以聽到嘶嘶聲，用涂液法在可疑之處涂上酒梢或丙酮之類易揮發液體.液體通過漏孔便揮發成氣體，使真空計指示值突然升高。

(2)鹵素檢漏法

此法用鹵素如氛里昂、四抓化碳、抓仿、磺仿等作示蹤氣體.用一個對鹵素氣體響應的探頭作檢漏器。可以抒設備抽成真空后充入鹵素氣體.在外部用探頭進行探索，可檢出10-2~10-3，Pa·L/S的漏孔.

(3)氮質譜檢漏法

此法用氮氣作示蹤氣體.用對氦氣特別敏感的質譜儀作檢漏器.這種儀器的檢漏方法很多，功能齊全，能準確地檢出漏氣部位.可檢到10-4~10-7Pa·L/S漏孔。但此法設備昂貴、復雜。

 

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