旋片式、滑閥式、余擺線式多級泵的組成結構與工作原理

旋片式多級泵結構與工作原理
旋片式多級泵轉子以一定的偏心距裝在多級泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近，在轉子槽內裝有兩個(或兩個以上)旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。旋片式泵屬于低多級泵。它可以單獨使用，也可以作為其他高真空泵或超高多級泵的前級泵。旋片式多級泵多為中小型泵，產品已經系列化。旋片泵有單級和雙級兩種，一般多做成雙級的，以獲得較高的泵度。旋片多級泵絕大多數是單工作腔結構，常用兩個徑向滑片，也有用三個斜置滑片的。貫穿滑片多級泵也有應用。
滑閥式多級泵結構與工作原理
滑閥式多級泵在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而把多級泵腔分成兩個可變容積。滑閥式多級泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結構不同。滑閥式泵是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥多級泵。
余擺線式多級泵結構與工作原理
 在多級泵腔內偏心裝有一個型線為余擺線的轉子，它沿泵腔內壁轉動并將泵腔分成兩個可變容積。泵的動平衡性好，所以運轉較平穩、振動亦小，轉速可以提高，可以做到尺寸小、抽速大，適合發展為大抽速的機械多級泵。由于吸氣管路短而粗，有利于提高多級泵低壓力下的抽速。

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