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真空測量中熱偶真空計的概述

真空測量中熱偶真空計的概述

在真空技術中,需要測量各種參數,其中最重要的是真空度,而測量真空度的范圍很廣,從107pa~10-9pa之間,這樣寬的壓強范圍不可能只用某一種通用的真空計來進行測量。目前,根據氣體壓強的各種物理現象研制了各式各樣的真空計,供真空測量所用。

現有U形真空計、壓縮真空計、熱偶真空計、電離真空計、放射性真空計和磁控放電真空計等.

最常見的真空計是熱偶真空計和電離真空計兩種。

熱偶真空計 www.bttyby

在低真空下,氣體的導熱性和壓強有關,壓強愈高,則分子密度就愈大,氣體的導熱性就愈好;反之,當壓強愈低(即真空度愈高)時,氣體的導熱就愈差.利用氣體導熱性與真空度之間的關系,制成各種類型的熱傳導真空計。

常用的熱偶式真空計(簡稱熱偶計)結構比較簡單,真空計管(又稱規管)由玻璃制作,管內兩根支架上焊一根熱絲(FTF),另外兩根支架上焊接一對熱電偶(ET和NT),熱絲和熱偶在交叉點T焊接或連接。熱絲的加熱電源由穩定電源供給,其大小由電位器W調節,用毫伏表G測量R上電壓降,便知加熱電流大小。當接通熱絲電K時.熱偶兩端產生的熱電勢也可用毫伏表G測量.

在測量時應保持熱絲的加熱電流不變.由于熱偶計規管制造時其特性有差異,每個規管的工作電流也不一樣,一般在100~120mA之間.在使用規管之前,首先要確定加熱電流的大小,一般規管在出廠之前都會進行封口.因此,規管在沒打開之前.先將它的工作電流測出。長期工作后,由于熱絲表面玷污污等原因,使規管特性有所變化,在清洗后要重新確定熱絲加熱電流.

熱偶計的優點是可測蒸氣和氣體總壓強.能連續指示系統中壓強變化.結構簡單,使用方便,還可遠距離測量。其缺點是讀數與氣體種類有關,有熱慣性,讀數滯后于壓強的變化,環發溫度變化對測量稍有影響。


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