抽除危險氣體的羅茨泵(一)
抽除危險氣體的羅茨泵(一)
標準羅茨泵的特性有一定的局限性,尤其是在粗真空范圍內: //www.bttyby/
(1)在氣壓下進行抽氣時壓縮比低 單級泵的壓縮比在壓力低于1mbar時最高,其值近于70:1;當在大氣壓下壓縮時其值降低到近于5:1。
(2)過熱 當對空氣的壓縮比高于2時泵將發熱,因此根據泵的入口壓力,一些羅茨泵不得不串聯使用,以便使壓力范圍加大。
2.氣冷羅茨真空泵:因為標準羅茨真空泵只有在壓縮比低于2的情況下才不過熱,所以研制了氣體循環冷卻的羅茨真空泵,以使其在沒有過熱的債況下,有盡可能高的壓縮比。在這種泵中,一部分氣體通過氣體冷卻器,然后經由特制的側口進入工作腔。由于氣體的進入,所以這種泵的極限壓力可達200mbar<單級泵)或20mbar(串聯雙級泵)。為了獲得低于1Ombar的壓力,一些泵必須串聯使用。
3.多級羅茨真空泵:為了避免一些昂費的羅茨真空泵串聯,研制了一種新的三級羅茨真空泵,,這種泵能在壓力低于l0mbar到1個大氣壓范圍內工作。
(1)結構 在齒輪箱中,由潤滑所造成的被抽氣體的污染低于3ppm,這取決于工作壓力和潤滑油的性質。通過增添一些輔助零件,可便污染值降到0.1ppm以下,這些輔助零件可互換到任何羅茨真空泵上,以便把中間中的氣體封住,可用沸石捕集或別的吸附材料抽空中間室。 //www.bttyby/
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